技術(shù)編號：6870109
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)一種聚合物的去除方法，特別是有關(guān)一種去除聚合物且同時降低氧化物損失的方法。背景技術(shù) 隨著集成電路的密度不斷擴大，為使芯片(chip)面積保持一樣甚至縮小，以持續(xù)降低電路的單位成本，唯一的辦法就是不斷地縮小電路設(shè)計規(guī)格(designrule)，以符合高科技產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展的趨勢。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，集成電路組件的尺寸已經(jīng)縮減到深次微米的范圍。當(dāng)半導(dǎo)體連續(xù)縮減到深次微米的范圍時，產(chǎn)生了一些在制程微縮上的問題。集成電路的進展已經(jīng)牽涉到組件幾何學(xué)的規(guī)格縮小...
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