技術(shù)編號：6870076
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)目前制造薄膜圖案層的方法主要包括光微影法及噴墨法。光微影法通過在預(yù)備涂敷所需薄膜的基板上，涂敷光阻材料，將具有預(yù)定圖案的光罩設(shè)在光阻材料上，進(jìn)行曝光及顯影蝕刻薄膜而形成具有預(yù)設(shè)圖案的薄膜圖案層。該光微影法需要抽真空裝置等大型設(shè)備或復(fù)雜的制程，并且，材料的使用效率較低而造成制造成本高。噴墨法使用一噴墨裝置將由所需薄膜材料形成的墨水噴射在一基板300上的擋墻304之間，墨水被干燥后在該基板300上形成預(yù)定的薄膜圖案層314，如圖1所示。...
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