技術(shù)編號：6869899
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種等離子體表面加工技術(shù)，其中通過在一對電極之間施加電場以等離子體化加工氣體，對于半導(dǎo)體等的基材的表面進行例如成膜、蝕刻、灰化、清理、表面改性等加工。更具體地，本發(fā)明涉及一種適合在等離子體成膜設(shè)備中布置基材遠離基材的電極之間的電場施加空間的所謂的遠程控制型的設(shè)備。背景技術(shù) 等離子體表面加工設(shè)備配備一對電極(例如，日本專利申請公開第H11-236676號)。加工氣體引入到該對電極之間，并且在它們之間施加電場產(chǎn)生輝光放電。這樣加工氣體被等離子體化。將...
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