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氮化物半導(dǎo)體元器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6869744

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本發(fā)明涉及使用氮化物半導(dǎo)體(InXAlYGa1-X-YN,0≤X,0≤Y,X+Y≤1)的元器件,該氮化物半導(dǎo)體用于LED(發(fā)光二極管)、LD(激光二極管)或超發(fā)光二極管(SLD)等發(fā)光元器件,太陽能電池、光傳感器等受光元器件,或者晶體管、功率元器件等電子元器件。背景技術(shù) 氮化物半導(dǎo)體作為高亮度青色LED、純綠色LED的材料,最近才在藍色LED顯示器、交通信號等方面實用化。用于元器件的LED具有異質(zhì)結(jié)構(gòu),其中具有InGaN所組成井層的單一量子井結(jié)構(gòu)(SQWS...
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