技術(shù)編號：6867923
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。總體而言，本發(fā)明涉及集成電路制造，更具體而言，涉及掩模技術(shù)。背景技術(shù) 在現(xiàn)代電子儀器中，作為包括增加的可攜帶性、計算能力、存儲容量和能量效率的需要的諸多因素的結(jié)果，集成電路正在不斷降低尺寸。為了促進這種尺寸降低，形成集成電路的組件特征的尺寸如電器件和互連線寬度也在不斷降低。例如，在存儲電路或器件如動態(tài)隨機存取存儲器(DRAM)、靜態(tài)隨機存取存儲器(SRAM)、鐵電(FE)存儲器等中，降低特征尺寸的趨向是明顯的。舉例來說，DRAM典型地包含數(shù)百萬相同的稱為存...
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