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具有用于陣列晶體管的外延SiC和/或碳化的溝道的低暗電流圖像傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6867898

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本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體器件,更具體涉及用于半導(dǎo)體器件包括CMOS圖像傳感器的光電二極管晶體管隔離技術(shù)。 背景技術(shù) CMOS圖像傳感器正被越來越多地用作低成本成像器件。CMOS圖像傳感器電路包括像素單元的焦平面陣列,每一個所述單元都包括在襯底內(nèi)具有相關(guān)電荷累積區(qū)用于積累光生成的電荷的光柵(photogate)、光電導(dǎo)體、或者光電二極管。每個像素單元都可以包括用于將電荷從電荷累積區(qū)轉(zhuǎn)移到傳感節(jié)點的晶體管,和用于在電荷轉(zhuǎn)移之前將所述傳感節(jié)點重新設(shè)置為預(yù)定電荷水平的...
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