技術(shù)編號：6867069
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，特別涉及具有溝槽柵極結(jié)構(gòu)的。背景技術(shù) 根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，有些半導體器件具有溝槽柵極結(jié)構(gòu)以控制在其源極和漏極之間流動的電流。作為溝槽柵極型晶體管的這些半導體器件具有如圖25所示的結(jié)構(gòu)。這里，為清楚起見，圖25示出了在圖26A中的箭頭XXV-XXV上的襯底4的頂視圖，即圖25示出了從該器件除去層間絕緣膜11的襯底4的頂視圖。如圖25所示，該半導體器件具有包括晶體管的單元區(qū)域87和其中形成柵極引線布線圖形18的柵極引線布線區(qū)域88。在單元區(qū)域87中，...
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