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氮化物半導(dǎo)體元件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6866139

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本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 對(duì)于組成以通式InxGayAlzN(其中,x+y+z=1,0≤x≤1,0≤y≤1,0≤z≤1)表示的氮化物半導(dǎo)體的帶隙,通過(guò)調(diào)整各元素的組成比率,可以具有與藍(lán)色光或紫外光對(duì)應(yīng)的大小。為此,正在積極地研究作為活性層具備氮化物半導(dǎo)體的半導(dǎo)體激光器等發(fā)光元件。圖1表示了氮化物半導(dǎo)體的晶體構(gòu)造。氮化物半導(dǎo)體如圖1所示,具有六方晶系的晶體構(gòu)造。由此,當(dāng)制作將上面(主面)設(shè)為(0001)面而將諧振器端面設(shè)為M面(1-100)的構(gòu)成的半導(dǎo)體激光器時(shí)...
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