技術(shù)編號(hào)：6865347
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于偏光變換元件、光學(xué)照明裝置、曝光裝置、以及曝光方法，且特別是有關(guān)于一種曝光裝置，用于制成半導(dǎo)體元件、影像攝取元件、液晶顯示元件、薄膜磁性頭等的微元件的微影制程中。背景技術(shù) 關(guān)于一些典型的曝光裝置，從光源射出的光束藉由做為光學(xué)積分器(optical integrator)的復(fù)眼(fly eye)透鏡，以形成由多個(gè)光源所構(gòu)成的實(shí)質(zhì)面光源的二次光源。由二次光源(一般是光學(xué)照明裝置的照明瞳或是被形成于其附近的照明瞳分布)射出的光束，藉由被配置于復(fù)眼透...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。