技術編號:6856753
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種發(fā)光元件的制造方法,特別是涉及一種高發(fā)光效率發(fā)光元件的制造方法。背景技術 氮化物發(fā)光元件的發(fā)展應用相當廣泛且極具重要性,其應用包括標志燈源、電子產品背光源、戶外全彩看板、白光照明、紫外光及高容量光驅應用等。在氮化物發(fā)光元件的結構中,藍寶石(sapphire)及碳化硅(SiC)為其基板的主要材料。在氮化物發(fā)光元件的工藝中,包括以晶片作為基板并于其上形成發(fā)光疊層,再將該晶片切割成芯片的工藝。傳統(tǒng)的切割方法利用一鉆石刀作為切割工具,于基板面先行切割...
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