技術(shù)編號(hào):6856520
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種使超聲波傳播到半導(dǎo)體晶片、光掩模用玻璃基板、液晶用玻璃基板、等離子顯示用玻璃基板、光盤(pán)用基板等各種基板來(lái)實(shí)施清洗處理等規(guī)定的處理的基板處理裝置以及方法。背景技術(shù) 一直以來(lái),為了除去附著在基板上的顆粒等微小的污染物質(zhì),在將處理液供給到基板的同時(shí),對(duì)該處理液附加超聲波振動(dòng),并傳播到基板上。由此,通過(guò)基于處理液的化學(xué)清洗,再加上賦予基于超聲波的物理振動(dòng),可以提高基板的清洗效果,有效地除去顆粒。在此,作為基板的清洗方法,有將多張基板一次浸入到處理液中...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。