技術(shù)編號(hào)：6856346
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，目的是，使在激光發(fā)射工序時(shí)元件中發(fā)生的裂縫(crack)或損傷(damage)降到最低。背景技術(shù) 一般來說，為提高氮化物半導(dǎo)體的品質(zhì)，作為基板使用藍(lán)寶石基板。但對(duì)于利用這種氮化物制作的器件，因?yàn)樗{(lán)寶石自身傳導(dǎo)性的問題，給制造器件帶來許多困難，或者熱傳導(dǎo)與其它物質(zhì)相比較差，所以對(duì)于器件驅(qū)動(dòng)來說，會(huì)引起相當(dāng)?shù)膯栴}。所以為解決上面的存在的問題，現(xiàn)有的技術(shù)為利用LLO(激光發(fā)射laser lift off)方法，但是這種LLO方法也受到激光光束大小和均...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。