技術(shù)編號：6856154
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 以往，作為低溫多晶硅薄膜晶體管的開發(fā)以及制造一直在進(jìn)行著下述方法在使用多晶硅的薄膜晶體管中，通過使用準(zhǔn)分子激光器用熱使非晶硅熔融，然后冷卻時使其結(jié)晶從而得到多晶硅。由此，襯底自身幾乎不受熱，所以能夠在耐熱溫度低的玻璃襯底上制作薄膜晶體管。進(jìn)而，將該薄膜晶體管作為驅(qū)動元件加以利用，開發(fā)、制造液晶顯示裝置和有機(jī)EL顯示裝置(例如，參考專利文獻(xiàn)1)。特開2002-341378號公報(第4頁、圖10)如上述，關(guān)于由激光器進(jìn)行結(jié)晶的硅，根據(jù)載物...
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