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半導(dǎo)體器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6855691

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本發(fā)明涉及一種包括電容器元件的半導(dǎo)體器件。背景技術(shù) 由于近來(lái)趨勢(shì)朝著以高速度和高頻率工作的小型且重量輕的電子設(shè)備轉(zhuǎn)移,所以對(duì)提高半導(dǎo)體集成電路的集成度的需求日益增加。相似地,貼裝到半導(dǎo)體集成電路上的電容器元件需要比以前更高的每單位面積的電容。作為用于集成電路的電容器元件,提出了構(gòu)造為形成上和下電極的平行板夾著電介質(zhì)的電容器元件,并且通過(guò)改進(jìn)上述電容器元件從而形成多層線之間的電容而實(shí)現(xiàn)的梳狀電容器元件(例如,見日本專利翻譯(Translation)公布No....
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