技術(shù)編號：6855054
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于一種用于驅(qū)動物體的驅(qū)動裝置，適合當(dāng)制造例如半導(dǎo)體元件、CCD攝像元件、液晶顯示器或薄膜磁頭等各種元件時，在為了將設(shè)定圖案轉(zhuǎn)印到基片上而使用的曝光裝置中的用于規(guī)定曝光光束的照明區(qū)域的可動遮蔽機構(gòu)中使用。另外，本發(fā)明關(guān)于一種具有該驅(qū)動裝置的曝光裝置。背景技術(shù) 在例如半導(dǎo)體元件的一個制造工程即刻蝕工程中，為了使在作為掩膜的光柵(或光掩膜等)上所形成的圖案，在作為基片(感應(yīng)基片)的涂敷有光刻膠的晶圓(或玻璃板等)上進行轉(zhuǎn)印曝光，使用曝光裝置。作為曝光裝...
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