技術(shù)編號(hào)：6855015
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在使用像藍(lán)寶石(Saphire)襯底那樣透明的絕緣性襯底進(jìn)行半導(dǎo)體制造工藝的情況下，為了識(shí)別透明的絕緣性襯底，而在絕緣性襯底上形成光反射膜的結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體襯底上制造半導(dǎo)體集成電路的過程中，半導(dǎo)體集成電路制造裝置通過使用光傳感器來檢測(cè)半導(dǎo)體襯底的位置。這里，在使用藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體襯底的情況下，由于藍(lán)寶石襯底透明，故該襯底自身透射光傳感器的檢測(cè)光，所以不能檢測(cè)出來。因此，在透明的藍(lán)寶石襯底上形成硅膜(Si)，在該硅膜上形成集成電...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。