技術(shù)編號：6854155
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，特別是涉及一種使用了高頻退火技術(shù)于多晶硅薄膜結(jié)晶制程的多晶硅薄膜形成方法。背景技術(shù) 在輕、薄、可攜的實(shí)用需求下，可撓式顯示器(flexible display)勢將成為下一代平面顯示技術(shù)的主流。目前研究的主要方向，是以塑料基板取代傳統(tǒng)平面顯示器如液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)與電漿顯示器(plasma display panel，PDP)所使用的玻璃基板。然而，塑料基板雖然符合輕、薄、可撓的需求，但其熔點(diǎn)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。