技術編號：6853538
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及薄膜晶體管(TFT)和制造該晶體管的方法，還涉及具有多個薄膜晶體管(TFTs)和半導體電路及其制造方法。根據(jù)本發(fā)明產生的薄膜晶體管可在諸如玻璃之類的絕緣襯底上和在諸如單晶硅之類的半導體襯底兩者之一上形成。尤其是，本發(fā)明涉及這樣一種半導體電路，它包括在低速下工作諸如單片有源矩陣電路(可用于液晶顯示器之類)的矩陣電路和一個驅動該有源矩陣電路并在高速下工作的外部電路。本發(fā)明還涉及通過根據(jù)熱處理晶體化和活化而產生的薄膜晶體管。背景技術 近來，人們對具有薄...
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