技術(shù)編號(hào)：6851348
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及載物臺(tái)裝置，特別是關(guān)于被構(gòu)成能夠消除因移動(dòng)載物臺(tái)時(shí)產(chǎn)生的反作用力而使載物臺(tái)的動(dòng)作精度下降的載物臺(tái)裝置。背景技術(shù) 例如，被稱(chēng)為載物臺(tái)裝置(ステ一ジ裝置)的裝置，被構(gòu)成為使門(mén)型的Y載物臺(tái)在吸附于工作臺(tái)(テ一ブル)上的基板上方以預(yù)定速度移動(dòng)(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。并且，上述Y載物臺(tái)，在與移動(dòng)方向(Y方向)垂直的方向(X方向)上延伸，跨過(guò)基板在兩端部被一對(duì)導(dǎo)引機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地支承，并且，由一對(duì)線位移傳感器(リニアスケ一ル)(位置檢測(cè)器)檢測(cè)出移動(dòng)位置。而且...
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