技術編號：6850229
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種半導體裝置的制造方法及由該制造方法制造的半導體裝置、電光學裝置、集成電路及電子設備。背景技術 在電光學裝置，例如液晶顯示裝置或有機EL(電致發(fā)光)顯示裝置等中，使用包含作為半導體元件的薄膜晶體管所構成的薄膜電路進行象素轉換等。以往的薄膜晶體管使用非結晶硅膜形成溝道形成區(qū)域等的活性區(qū)域。而且，使用多晶硅膜形成活性區(qū)域的薄膜晶體管也已實用。通過使用多晶硅膜，與使用非結晶硅膜時相比可以提高移動性等的電特性，也可以提高薄膜晶體管的性能。另外，為了進一...
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