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生長(zhǎng)于硅襯底上的垂直結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體芯片或器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6850087

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本發(fā)明揭示生長(zhǎng)于大直徑的硅襯底上的高質(zhì)量的垂直結(jié)構(gòu)的氮化鎵基半導(dǎo)體發(fā)光二極管及其在硅晶片上生長(zhǎng)的技術(shù)和工藝,屬于半導(dǎo)體電子。背景技術(shù) 大功率半導(dǎo)體發(fā)光二極管具有取代白熾燈的巨大前途,但是,首先要解決技術(shù)上的問題,主要問題包括,光取出效率低,散熱效率低,和生產(chǎn)成本高。為解決橫向結(jié)構(gòu)的大功率氮化鎵基半導(dǎo)體發(fā)光二極管的散熱問題,倒裝焊技術(shù)被提出。但是,倒裝焊技術(shù)工藝復(fù)雜,成本高。因此,大量的研究投入垂直結(jié)構(gòu)的氮化鎵基半導(dǎo)體發(fā)光二極管,垂直結(jié)構(gòu)的氮化鎵基半導(dǎo)體發(fā)光...
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