技術(shù)編號(hào):6849622
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及,特別涉及薄膜電容器、鐵電體不揮發(fā)性存儲(chǔ)器、薄膜體波振蕩器(film bulk resonator)等裝備了具有鐵電性或者壓電性的功能膜的。背景技術(shù) 在薄膜電容器、鐵電體不揮發(fā)性存儲(chǔ)器、薄膜體波振蕩器等電子元件中,往往使用由鐵電體材料或者壓電材料構(gòu)成的功能膜。例如,薄膜體波振蕩器具有通過(guò)上下2個(gè)導(dǎo)電膜(上部導(dǎo)電膜以及下部導(dǎo)電膜)夾持由壓電材料構(gòu)成的功能膜的結(jié)構(gòu),通過(guò)向這些導(dǎo)電膜外加高頻信號(hào),從而可以用作高通濾波器。為了在這樣的電子元件中獲得良好的...
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