技術(shù)編號(hào)：6847730
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及低溫下，低至450℃或更低的溫度，制造絕緣柵半導(dǎo)體器件的工藝方法，還涉及以高成品率，制造包括有高集成度的所述器件的集成電路(IC)的方法。本發(fā)明涉及用上述工藝制造的半導(dǎo)體器件，進(jìn)一步涉及高可靠性的半導(dǎo)體器件。依照本發(fā)明的半導(dǎo)體器件，適用于，例如，有源的陣列驅(qū)動(dòng)液晶顯示器，圖象傳感器驅(qū)動(dòng)電路等，以及用于SOI集成電路及通用半導(dǎo)體集成電路(例如，微處理機(jī)、微控制器、微機(jī)、半導(dǎo)體存貯器等)的薄膜晶體管。近來，人們致力于研究在絕緣襯底上制造絕緣柵半導(dǎo)體器...
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