技術(shù)編號：6847405
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)1.發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及利用以墨噴印刷為典型的微滴排放法的一種制造半導(dǎo)體器件、液晶顯示器和EL(場致發(fā)光)顯示器的方法。尤其，本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體器件中構(gòu)成接觸空穴的形成方法。2.相關(guān)技術(shù)描述在半導(dǎo)體器件、液晶顯示器或EL顯示器的制造中，已經(jīng)建議將微滴排放設(shè)備用于形成薄膜和布線圖案，以降低設(shè)備費(fèi)用和簡化步驟。在這種情況下，半導(dǎo)體器件的接觸空穴是通過如下步驟形成對涂布在基片整個表面上的抗蝕層(resist)進(jìn)行預(yù)焙燒的步驟，通過其中將UV線等輻照穿過...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。