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光電轉(zhuǎn)換裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6847149

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本發(fā)明涉及透明電極為ZnO(氧化鋅)的光電轉(zhuǎn)換裝置。背景技術(shù) 以前,公知有硅系薄膜光電轉(zhuǎn)換裝置作為太陽(yáng)電池等的光電轉(zhuǎn)換裝置。通常,在該光電轉(zhuǎn)換裝置的基板上依次層積有第一透明電極、硅系半導(dǎo)體層(光電轉(zhuǎn)換層)、第二透明電極以及金屬電極膜。作為透明電極來(lái)說(shuō),要求低電阻且高光透過(guò)率的材料,所以使用ZnO(氧化鋅)、SnO2(二氧化錫)等。通過(guò)添加氧化Ga(鎵)、氧化Al(鋁)、氟素等來(lái)實(shí)現(xiàn)這種透明電極的低電阻。此外,當(dāng)非結(jié)晶型硅薄膜作為光電轉(zhuǎn)換層時(shí),公知有這樣的技...
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