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光刻裝置和器件制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6846965

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本發(fā)明涉及一種光刻裝置和一種用于制造器件的方法。背景技術(shù) 光刻裝置是可在襯底、通常是襯底的目標(biāo)部分上施加所需圖案的機(jī)器。光刻裝置例如可用于集成電路(IC)的制造中。在這種情況下,可采用圖案形成裝置來(lái)產(chǎn)生將形成于IC的單個(gè)層上的電路圖案,該圖案形成裝置也稱(chēng)為掩?;蚍謩澃濉T搱D案可被轉(zhuǎn)移到襯底(如硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如包括一個(gè)或多個(gè)管芯)上。圖案的轉(zhuǎn)移通常借助于成像到設(shè)于襯底上的一層輻射敏感材料(抗蝕劑)上來(lái)實(shí)現(xiàn)。通常來(lái)說(shuō),單個(gè)襯底包含被連續(xù)地形成圖案的相...
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