技術(shù)編號:6846813
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件,特別是涉及一種適用于半導(dǎo)體器件的金屬接觸結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 互補金屬氧化物半導(dǎo)體(Complementary Metal-Oxide Semiconductor,CMOS)技術(shù),是現(xiàn)今用于構(gòu)建超大規(guī)模集成電路(Ultra Large ScaleIntegrated Circuits,ULSI)的主要半導(dǎo)體技術(shù)。目前典型的互補金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管是使用多晶硅當(dāng)作柵極的N型金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管與P型互補金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管,其中多晶...
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