技術(shù)編號：6846745
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及適合用于將基板用處理液處理后干燥處理的情況的。背景技術(shù) 在液晶顯示裝置中使用的玻璃制基板上形成有電路圖案。為了在基板上形成電路圖案，采用光刻工藝。光刻工藝如總所周知，將抗蝕劑涂布在上述基板上，隔著形成有電路圖案的掩模對該抗蝕劑照射光。接著，通過重復(fù)進(jìn)行將抗蝕劑的沒有被照射光的部分或照射了光的部分除去、將基板的除去了抗蝕劑的部分蝕刻、在蝕刻后除去抗蝕劑等一系列的工序，在上述基板上形成電路圖案。在這樣的光刻工藝中，有利用顯影液對上述基板上的抗蝕劑進(jìn)行...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。