技術(shù)編號(hào):6846698
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于制造包含襯底上的半導(dǎo)體材料薄層的結(jié)構(gòu)的方法,包括以下步驟·在必須制作薄層的施主襯底的面下執(zhí)行種類(species)注入,以在施主襯底的厚度中生成脆變區(qū)(embrittlement zone),·在進(jìn)行注入之后,使施主襯底的該面與支撐襯底緊密接觸,·在脆變區(qū)的水平面分離施主襯底,以將施主襯底的一部分轉(zhuǎn)移到支撐襯底上并在支撐襯底上形成薄層。本發(fā)明更準(zhǔn)確地涉及以上提到的注入步驟。背景技術(shù) SMARTCUTTM型工藝是上文提到的該類型方法的實(shí)例并...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。