技術(shù)編號:6846628
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及給可移動元件提供運動,特別是利用壓電馬達沿多于一個方向提供可移動元件的運動。背景技術(shù) 大多數(shù)壓電馬達通常向可移動元件施加運動,所述馬達沿單條直線前后連接于所述元件,該單條直線以下被稱為“運動軸線”。為了有選擇地沿多于一個運動軸線向可移動元件施加運動,通常為所希望運動的每一不同軸線使用相對復雜的傳輸系統(tǒng),從而將不同的壓電馬達連接到可移動元件。例如,為了提供能夠提供一種XY位置工作臺,該工作臺能夠?qū)⒃赬Y坐標系中的任何XY坐標處安裝于所述工作臺上的元...
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