技術(shù)編號：6844815
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氮化物半導(dǎo)體分層結(jié)構(gòu)，并且更具體而言是涉及一種氮化物半導(dǎo)體分層結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)包括一個相對厚的包含AlN的單晶氮化物半導(dǎo)體材料的復(fù)合層，該復(fù)合層位于一個低溫沉積的包含AlN的氮化物半導(dǎo)體材料的緩沖層上。因?yàn)榧す馄髦械墓獠▽?dǎo)層及其下面的包覆層所形成的光約束結(jié)構(gòu)提供的光約束不夠，所以這種常規(guī)激光器發(fā)出光的遠(yuǎn)場圖顯示出多峰，而不是想要的單峰。該光約束結(jié)構(gòu)允許光從光波導(dǎo)層泄漏到包覆層下的接觸層中。從而該接觸層起到寄生光波導(dǎo)的作用，引起高次模中的的雜散激光振蕩...
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