技術編號：6844518
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及基板處理系統(tǒng)，尤其是涉及用于處理暴露于活性物質的基板的表面的基板處理系統(tǒng)。背景技術 通常，在使用氣體的基板表面處理方法，如CVD(化學氣相沉積)中，基板的表面在相對長的時間暴露于包含活性物質的過程氣中進行處理，如摻雜。在反應后，過程氣的性質不改變或不論其性質是否改變，過程氣可再利用的情況中，嘗試再利用該過程氣。從降低對基板本身或對人體或環(huán)境的有害影響以及減少費用的角度，再利用過程氣是有利的。另外，將廢氣再利用為密封真空泵軸的密封氣的技術是已知的(...
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