技術(shù)編號:6844305
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及氮化物半導(dǎo)體,更具體地涉及用于提高光輸出和可靠性的氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件。背景技術(shù) 通常,GaN基氮化物半導(dǎo)體被應(yīng)用于光學(xué)器件例如藍/綠LED、以及在其應(yīng)用領(lǐng)域中具有高速轉(zhuǎn)換和高輸出特性的電子器件,例如金屬半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(MESFET)和高電子遷移率晶體管(HEMT)。具體地,藍/綠LED被大批量生產(chǎn),且其全球銷售呈指數(shù)性增加。這種GaN基氮化物半導(dǎo)體發(fā)光器件主要是在藍寶石襯底或SiC襯底上生長。另外,多晶薄膜AlyGa1-yN層在低生長溫度下...
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