技術(shù)編號：6844058
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明有關(guān)于半導(dǎo)體制造，尤其是有關(guān)于用以密封一處理室開口的方法與設(shè)備。背景技術(shù) 一基材處理室典型與一基材傳送室經(jīng)由一可密封開口相通，該開口為寬及相當(dāng)短，以容許水平方向的基材插入與移除。已知使用一狹縫閥，以密封一開口。例如，狹縫閥的一密封板可以延伸以密封該開口，并縮回，以允許基材通過該開口。狹縫閥較佳被設(shè)計(jì)以避免(1)經(jīng)由磨擦所產(chǎn)生的微粒，及(2)彈性封閉件的不均勻壓縮的問題。在某些類型的基材處理步驟中，一壓力差動(dòng)器可以存在于處理室與傳送室之間，使得在處理室...
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