技術(shù)編號：6843346
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及與有助于半導體晶片制造的標準機械接口(SMIF)系統(tǒng)一起使用的傳送裝置，特別涉及可被構(gòu)成為分度器(indexer)或負載通道開啟器的接口和傳送裝置，其中通過降低容器門和盒子使其離開穩(wěn)固的容器殼，分度器可使工件裝載盒與貯放和傳送容器分離；和通過升高容器殼使其離開穩(wěn)固的容器門和盒子，負載通道開啟器使盒子與容器分離。背景技術(shù) 在美國專利4532970和4534389中披露了由Hewlett-Packard公司提出的SMIF系統(tǒng)。該SMIF系統(tǒng)的目的是減...
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