技術(shù)編號：6843260
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及改善薄膜光電轉(zhuǎn)換裝置的轉(zhuǎn)換效率，特別是涉及包含由等離子CVD法形成的結(jié)晶硅光電轉(zhuǎn)換單元的大面積薄膜光電轉(zhuǎn)換裝置的光電轉(zhuǎn)換效率的改善。背景技術(shù) 當(dāng)今，薄膜光電轉(zhuǎn)換裝置呈現(xiàn)多樣化，在包含現(xiàn)有非晶體硅光電轉(zhuǎn)換單元的非晶體硅光電轉(zhuǎn)換裝置之外，包含結(jié)晶硅光電轉(zhuǎn)換單元的結(jié)晶硅光電轉(zhuǎn)換裝置也在開發(fā)，把這些單元層合的混合型薄膜光電轉(zhuǎn)換裝置也在實用化。在此所使用的用語“結(jié)晶”，包含聚晶和微晶。用語“結(jié)晶”和“微晶”，還意味著包含部分非晶體。作為薄膜光電轉(zhuǎn)換裝置，一...
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