亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

具有自對(duì)準(zhǔn)接觸結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件及其形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6840162

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件及其制造方法,更具體地說(shuō),涉及半導(dǎo)體器件中的自對(duì)準(zhǔn)接觸結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù) 隨著半導(dǎo)體器件集成度的提高,互連線之間的間隔減小了。隨著互連線之間間隔的減小,當(dāng)采用光刻技術(shù)限定接觸孔時(shí),可能出現(xiàn)不對(duì)準(zhǔn)。這些接觸孔通常穿透層間絕緣層,層間絕緣層位于設(shè)置為彼此平行的互連線之間。為了解決這個(gè)不對(duì)準(zhǔn)問(wèn)題,近來(lái)已經(jīng)提出了自對(duì)準(zhǔn)接觸技術(shù)(SAC)。傳統(tǒng)的SAC工藝通常包含在半導(dǎo)體襯底上形成用絕緣層例如氮化硅層覆蓋的多個(gè)互連線,然后在生成的具有多條...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 賀老師:氮化物陶瓷、光功能晶體材料及燃燒合成制備科學(xué)及工程應(yīng)用
  • 楊老師:工程電磁場(chǎng)與磁技術(shù),無(wú)線電能傳輸技術(shù)
  • 許老師:1.氣動(dòng)光學(xué)成像用于精確制導(dǎo) 2.人工智能方法用于數(shù)據(jù)處理、預(yù)測(cè) 3.故障診斷和健康管理
  • 王老師:智能控制理論及應(yīng)用;機(jī)器人控制技術(shù)
  • 李老師:1.自旋電子學(xué) 2.鐵磁共振、電磁場(chǎng)理論
  • 寧老師:1.固體物理 2.半導(dǎo)體照明光源光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐 3.半導(dǎo)體器件封裝實(shí)踐
  • 楊老師:1.大型電力變壓器內(nèi)絕緣老化機(jī)理及壽命預(yù)測(cè) 2.局部放電在線監(jiān)測(cè)及模式識(shí)別 3.電力設(shè)備在線監(jiān)測(cè)及故障診斷 4.絕緣材料的改性技術(shù)及新型絕緣材料的研究
  • 王老師:1.無(wú)線電能傳輸技術(shù) 2.大功率電力電子變換及其控制技術(shù)