技術編號：6837082
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種靜電致動的微機械開關器件，該器件具有在一個基片的本體中形成的多個可移動元件，用于通過這些可移動元件在該基片的平面內的水平移動來導通和斷開至少一個歐姆接觸；該開關器件包括具有多個梳形電極的驅動器，其中，這些電極包括固定驅動電極和可移動電極；可移動推桿，其與可移動電極機械地連接起來并且延伸穿過可移動電極；可移動接觸元件，其與推桿的一側機械地連接起來；至少一個復位彈簧，其與推桿機械地連接起來；信號線和接地線，其中該信號線包括被一空隙中斷的兩個部分。...
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