技術(shù)編號(hào)：6835967
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體激光器腔面反射涂層的結(jié)構(gòu)，更確切地說，本發(fā)明提供一種實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器后腔面高反射涂層的膜系結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體激光器器件工藝。本發(fā)明采用的激光器后腔面高反膜涂層結(jié)構(gòu)為λ/4n厚氧化物薄膜/80-100nm厚Ag膜/40-50nm厚相同組成和結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜，其中λ為激光器激射波長，n為氧化物薄膜折射率。這里第一層氧化物起著防止器件短路和增加Ag膜粘附力等雙重作用，厚度嚴(yán)格控制在λ/4n，主要目的是增透。當(dāng)激光器后腔面發(fā)出的光經(jīng)該氧化膜時(shí)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。