技術編號：6835240
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明一般涉及檢測半導體器件樣品用的樣品夾，特別涉及掃描電子顯微鏡用的樣品夾。背景技術 半導體器件制造過程中，經(jīng)常要用掃描電子顯微鏡檢測半導體器件的加工工件，用掃描電子顯微鏡檢測經(jīng)過某個工藝步驟加工后的工件樣品，根據(jù)對工件樣品的檢測結果確定合適的工藝條件。因此，要求用掃描電子顯微鏡又快又好地檢測半導體器件樣品，而且，不能損壞被檢測的半導體器件樣品，縮短檢測時間保證不損壞被檢測的半導體器件樣品對提高產(chǎn)品合格率縮短生產(chǎn)周期很重要。因此，要求掃描電子顯微鏡用的樣...
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