技術(shù)編號(hào)：6834966
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種，尤其涉及一種具有指叉電極的。背景技術(shù) 動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器是一種廣泛應(yīng)用的集成電路元件。隨著產(chǎn)業(yè)發(fā)展，對(duì)于更高容量的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器的需求也隨之增加。動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器的存儲(chǔ)單元是由彼此電氣連接的MOS晶體管及電容器構(gòu)成。電容器主要是用以儲(chǔ)存代表數(shù)據(jù)的電荷，必須具有高電容量才可確保數(shù)據(jù)不易漏失。增加電容器的電荷儲(chǔ)存能力的方法除了增加介電材料的介電系數(shù)以及減少介電材料的厚度外，還可以利用增加電容器的表面積來達(dá)成。然而，隨著半導(dǎo)體技術(shù)持續(xù)朝向亞...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。