技術編號：6834376
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明有關一種輔助激光結晶的方法，且特別是一種應用于多晶硅制作，同時具有熱滯留特性以及抗反射能力的輔助激光結晶的方法。背景技術 多晶硅(poly-silicon)因具有優(yōu)于非晶硅的電氣特性，以及低于單晶硅的成本考量優(yōu)勢，而于近幾年在薄膜晶體管制造上廣受重視，尤其是在薄膜晶體管驅(qū)動液晶顯示器(TFT-LCD)的應用上。然而，多晶硅結晶的粒徑(grain size)大小對于電子遷移率(mobility)和元件特性有著很大的影響，其中，多晶硅中存在的結晶晶界(g...
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