技術(shù)編號(hào):6834370
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及液晶顯示裝置的制造方法,更詳細(xì)地講涉及形成多晶硅薄膜晶體管用的。背景技術(shù) 液晶顯示裝置或有機(jī)發(fā)光顯示裝置等中作為開(kāi)關(guān)元件使用的薄膜晶體管(Thin Film Transistor,以下稱(chēng)為T(mén)FT)是前述平板顯示裝置的性能中最重要的構(gòu)成要素。這里,作為判斷前述TFT性能標(biāo)準(zhǔn)的遷移率(mobility)或漏泄電流等,很大程度上受作為電荷傳輸體遷移路徑的活性層有何種狀態(tài)或結(jié)構(gòu),即,作為活性層材料的硅薄膜有何種的狀態(tài)或結(jié)構(gòu)所支配?,F(xiàn)在常用的液晶顯示裝置,...
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