技術(shù)編號(hào)：6833253
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在電子元件中使用的薄膜的制造方法及制造裝置。此外，本發(fā)明涉及薄膜層疊體和使用該薄膜層疊體構(gòu)成的電子元件。 背景技術(shù) 在現(xiàn)代社會(huì)中，薄膜起作用的范圍是非常廣的，在包裝紙、磁帶、電容器、半導(dǎo)體等日常生活的各個(gè)部分中，都利用了薄膜。如果沒(méi)有這些薄膜，那就談不上近年來(lái)的高性能化及小型化那種技術(shù)的基本趨勢(shì)。同時(shí)，關(guān)于以滿足工業(yè)的需要的形態(tài)形成薄膜的方法，也進(jìn)行了各種開(kāi)發(fā)，例如，在包裝紙、磁帶、電容器等的用途中，進(jìn)行了對(duì)于高速大量生產(chǎn)方面有利的連續(xù)卷繞真空蒸...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。