技術(shù)編號(hào)：6833246
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種薄膜晶體管及其通道層(channel layer)的制造方法，且特別涉及一種低溫多晶硅薄膜(low temperature poly-silicon，簡(jiǎn)稱為L(zhǎng)TPS)晶體管及其通道層的制造方法。背景技術(shù) 在一般元件中，都需配置開關(guān)以驅(qū)動(dòng)元件的運(yùn)作。以主動(dòng)式驅(qū)動(dòng)的顯示元件為例，其通常是以薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)作為驅(qū)動(dòng)開關(guān)。而薄膜晶體管又可依通道區(qū)的材質(zhì)分為非晶硅(amorphoussilicon，簡(jiǎn)稱a-...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。