技術(shù)編號：6833244
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及薄膜半導體襯底、薄膜半導體襯底的制造方法、晶化方法、用于晶化的裝置、薄膜半導體器件、以及薄膜半導體器件的制造方法，這些可以應用于例如有源矩陣平板顯示器。背景技術(shù)對于在絕緣襯底上形成如薄膜晶體管(TFT薄膜晶體管)、接觸圖像傳感器以及光電轉(zhuǎn)換器件等的半導體器件，薄膜半導體技術(shù)很重要。薄膜晶體管為MOS(MIS)場效應晶體管，并且應用于如液晶顯示器等的平板顯示器(例如，參見非專利文獻1“(平板顯示器件96)FlatPanel Display 96”，...
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