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倒裝芯片凸點的選擇性激光回流制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6831467

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本發(fā)明涉及的是一種倒裝芯片凸點的制備方法,特別是一種采用激光選擇性回流制備倒裝芯片凸點的方法,屬于集成電路制造的電子封裝領(lǐng)域。背景技術(shù) 倒裝芯片技術(shù)允許面積排列的內(nèi)連接,具有高I/O數(shù)、高密度、高電氣性能以及高硅片利用率等優(yōu)點;而且,當錫球回流時,焊錫內(nèi)的表面張力將自我糾正芯片的微小不對準,這個自我對準特性帶來非常高的制造裝配合格率。目前采用的凸點制作技術(shù)主要有蒸鍍焊料合金、電鍍凸點技術(shù)、釘頭法、模板印刷法、激光植球等。其中的電鍍法最大的優(yōu)點是可以做到比較...
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