技術(shù)編號:6831370
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是關(guān)于納米壓印技術(shù),特別是關(guān)于一種。背景技術(shù)納米壓印技術(shù)是一種能夠制備線寬小于100納米形狀圖案的新興技術(shù),特別適用于大批量、重復(fù)性、精確制備納米圖形結(jié)構(gòu)。納米壓印技術(shù)為制備更小尺寸結(jié)構(gòu)圖案提供一種新的可能,其可與其它技術(shù)結(jié)合應(yīng)用于半導(dǎo)體電子器件,光電器件或光學(xué)器件制備,數(shù)據(jù)存儲以及生物芯片等眾多領(lǐng)域。相對于其它能夠?qū)崿F(xiàn)制備納米圖案的技術(shù)(如掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡,電子束刻印術(shù)以及極端紫外線光刻技術(shù)等),納米壓印技術(shù)具有操作簡單,分辨率高,重復(fù)...
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