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壓電體元件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6830931

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本發(fā)明涉及具有壓電體薄膜的。背景技術(shù)近年來,根據(jù)不同的需要,壓電體薄膜被加工成各種各樣的壓電體元件,特別是被廣泛運(yùn)用于加壓能產(chǎn)生變形的致動(dòng)器及由元件變形產(chǎn)生電壓的傳感器等功能性電子部件。例如,如日本特開2002-279742號(hào)公報(bào)中公開了運(yùn)用壓電體元件可以對(duì)磁盤的磁頭位置進(jìn)行微細(xì)控制。這是由于磁盤的記錄密度增大,一個(gè)磁頭的記錄區(qū)域的面積變小,但用原來的音圈電機(jī)很難對(duì)磁頭的位置進(jìn)行高精度控制。因此,除了利用音圈電機(jī)確定位置,正在研究利用壓電體元件來進(jìn)行微小區(qū)...
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