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圖案及其形成法、器件及其制法、電光學(xué)裝置、電子儀器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6830615

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本發(fā)明涉及圖案及其形成方法、器件及其制造方法、電光學(xué)裝置、電子儀器及有源矩陣基板的制造方法背景技術(shù)過(guò)去對(duì)于半導(dǎo)體集成電路等微細(xì)配線圖案(圖案)的制造方法,大多采用光刻法。另一方面,在特開(kāi)平11-274671號(hào)公報(bào)和特開(kāi)2000-216330號(hào)公報(bào)等上公開(kāi)了采用液滴噴出方式的方法。這些公報(bào)中披露的技術(shù),是通過(guò)從液滴噴頭向基板上噴出含有圖案形成用材料(導(dǎo)電性微粒)的功能液(配線圖案用油墨),在圖案形成面上配置材料形成配線圖案的,這種方法對(duì)于少量多種生產(chǎn)而言特別...
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